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產品中心
LB-200金相測量顯微鏡

金相測量顯微鏡主要用于LED封裝、半導體封裝、微電子行業、精密器件等高精度的尺寸及外形精密測量,如半導體行業:對金球直徑測量、金球厚度尺寸測量、線弧高度測量、金線直徑測量、芯片尺寸測量、支架尺寸測量等。

LB-200采用進口高精度光柵尺,Z軸分辨率高達0.1um,以滿足用戶不同產品的高精度測量需求。

產品特點
技術參數
產品優勢
夾具配件

覆蓋范圍廣:兼容多種測量和觀察需求

可操作性:操作更簡單、更高效

高度測量:實現對樣品表面凹凸的高精度測量

測量支持系統:對復雜形狀也能簡單、高精度地測量

金相顯微鏡結構標記圖1.jpg

設備測試參數:

設備型號 LB-200
外形尺寸 700*800*800mm
設備重量 85KG
玻璃尺寸 230*160mm
載物臺尺寸 3580*258mm
行程 200*100*150mm
光柵尺分辨率 Z軸分辨率±0.1um;XY軸±0.5um(可選配±0.1um)
光學系統 無限遠光學系統
移動方式 手動
物鏡 5X,10X,20X,50X
目鏡 10X
視野圖像 反像
觀察方法 明場/暗場自由切換
表面光源/底部光源 3W/LED同軸光源
XYZ定位精準度 ±0.1um
XYZ重復精度 ±0.1um
XY測量精度 (3+L/100)um,“L”為被測量長度
Z測量精度 (3+L/25)um,“L”為被測量高度
數顯器功能 RS232輸出,XYZ清零/分中,公英制轉換,精度校正
Z軸控制器 高精度同軸搖輪控制上下移動
Z軸定位精度 ±0.1um
工作電壓 AC220V
額定功率 100W
功能 金球直徑測量 長度測量
金球厚度測量 角度測量
金線線弧測量 半徑測量
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